Die US-amerikanische Firma Thorrn Micro Technologies hat eine Methode entwickelt um Luftbewegungen mit Hilfe von unbewegten Halbleiterbauteilen zu verursachen.
Der Halbleiterlüfter nutzt zur Erzeugung des Luftstroms das neu entwickelte Prinzip einer elektro-aerodynamischen Pumpe. Dazu wird eine elektrische SPannung zwischen einer stumpfen und einer scharfen Elektrode angelegt, in deren Umgebung die Luft ionisiert wird. Diese geladenen Ionen bewegen sich aufgrunde des elektrischen Feldes zur gegennamig geladenen Elektrode und setzen durch Zusammenstösse die umliegeden Luftmoleküle in Bewegung. Der 15x15mm grosse Prototyp erzeugt wesentlich höhere Strömungsgeschwindigkeiten als ein herkömmlicher Lüfter mit deutlich größerem Bauteilvolumen.